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我国石英坩埚的主要特色?
- 2019-12-10-

  目前石英坩埚生产涂层技能已被大多数厂家使用就是在一般石英砂溶制的坩埚表面涂上一层高纯度石英砂使其形成细密层,其细密层能阻挠单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反响提高成晶率。

  1.石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,开展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,国际半导体工业发达地域已用此坩埚替代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺度大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等长处。

  2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。

  3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。

  4.石英质脆,易破,使用时要注意。

  5.除HF外,石英玻璃坩埚一般稀无机酸可用作清洗液。

  国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技能都比较成熟。其生产使用质料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其质料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。

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