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浅谈石英坩埚的烧成工艺特点与发展趋势
- 2019-05-08 -

  因为咱们生产的石英坩埚质量和纯度将直接影响到硅片和半导体材料的纯度,因而咱们采用高标准的标准,实现了从美国原材料投入和生产过程到用户运用进行全方位地质量盯梢体系。一起关于产品,从每一个石英坩埚的制造、用先进检测设备查验及查验成果、包装、出货、售后服务,实施一卡片式管理,把检测记录悉数保存在计算机里备案。以便更好的服务于客户。

  多晶硅铸锭用石英坩埚(石英方坩埚)的生产过程对烧制环节提出了严厉的工艺要求,特别是用于准单晶铸锭用的熔融石英坩埚。多晶硅铸锭用石英坩埚的形态上的发展趋势是:大件(G6石英方坩埚标准到达1040mm×1040mm×500mm)、壁薄(16mm-20mm)、冷却过程初始需要快速冷却(熔融石英的结晶工艺要求)。准单晶铸锭用的熔融石英坩埚还对产品提出了更高的归纳性能,如更好的强度与热传导性、更低的显气孔率与热膨胀系数、更均匀的密度散布等等。对此,业界窑炉供货商ASBKILNS在2011年10月份新推出了"复合脉冲燃烧操控技能"和"快速冷却系统",并将其应用至石英方坩埚窑炉(石英方坩埚梭式窑、石英方坩埚隧道窑)设备中,能使大件壁薄的石英方坩埚制品在升温与保温过程取得更均匀的热场和快速的冷却速度,大大提高石英方坩埚的烧成合格率。

  相关于生产高纯度的石英坩埚,关于任何方式的污染都是晦气的。如酸碱,水分、盐、蒸汽等都会给坩埚表面留下的污染物,然后导致石英坩埚在运用中加快析晶。因而咱们严厉依照清洗、枯燥、包装程序,保证坩埚的高纯度,没有污染。


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