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石英坩埚的长处
- 2022-04-25-

  石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺度大精度高、保温性好、节约能源、质量安稳等长处,应用越来越广泛。石英坩埚的检测作业是一个比较重要的环节,并且石英坩埚的检测朝向现场检测方向开展。

  1.石英坩埚可在1450度以下运用,分通明和不通明两种。用电弧法制的半通明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,开展大规模集成电路必不可少的基础资料。当今,半导体工业发达国已用此坩埚取代了小的通明石英坩埚。具有高纯度、耐温性强、尺度大精度高、保温性好、节约能源、质量安稳等长处。

  2、不能和HF触摸,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐效果。

  3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。

  4.石英质脆,易破,运用时要注意。

  5.除HF外。

  一般稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸22英寸也有厂家运用22及以上的坩埚。现在国内坩埚出产大厂家出产的坩埚技能都比较老练。其出产运用质料石英砂由进口和挪威高纯石英砂两种。也有小厂运用国产料其质料出产的石英坩埚对拉制单晶硅时其安稳性都有一定影响。

  现在坩埚出产涂层技能已被大多数厂家运用就是在一般石英砂溶制的坩埚外表涂上一层二氧化钡溶液使其构成致密层,其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反响进步成晶率。


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