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石英片镀膜要注意什么?
- 2021-03-31-

  一、优点

  1、普通备有辅助离子源,能够用来清洗石英片,清洗效果好;

  2、由于装有中和器,也能够用来制备绝缘膜层;

  3、易于制备熔点高的材料;

  4、制备合金膜层,能够保证膜层材料比例与靶材相同;

  5、靶材粒子能量高(比热蒸发高出1个数目级),所制备膜层更致密,与石英片结协力更高。

  二、缺点

  1、离子源清算和中和器灯丝改换较频繁;

  2、普通镀膜速率较慢,每秒几十埃;

  3、不适合制备较大面积薄膜。

  三、机器运转时的注意事项

  1、关注真空度指标;

  2、保持机器内舱各部位的清洁;

  3、测试并记载镀好的石英振子主要指标,如:频率、电阻、DLD等;

  4、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其结实度;

  5、依据镀出石英振子的散差,调整遮挡板的各部尺寸;

  6、检查并记载抽真空的时间,如有延长,立即检查形成的原因;

  7、将不良品挑出:电极错位、划伤、脏污、掉银等。



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